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为了研究蓝宝石/AlN/GaN外延片表面层热应力分布及影响因素，以直径d为Φ40 mm的外延片为研究对象，利用有限元分析法对其表面热应力分布进行了理论计算和仿真，验证了仿真模型的合理性。分析了外延片生长温度、蓝宝石衬底和AlN过渡层厚度对表面热应力的影响。结果显示：在1 200℃的生长温度下，外延片径向应力比轴向应力大一个量级；在径向（d<Φ32 mm）区域内的热应力分布比较均匀，热应力变化范围为...
