搜索结果: 1-1 共查到“动力与电气工程 n-GaAs”相关记录1条 . 查询时间(0.052 秒)
半导体离子注入技术，广泛应用于生产制造微电子、光电子器件，在信息产业中占有相当重要位置。本成果应用离子注入原理，采用Si^+多重能量、剂量、多次注入，解决了纵向浓度均匀性问题，其性能指标满足了微电子，光电子器件对有泛层的要求。采用“Si/As”双离子注入的方法可解决电激活的横向均匀分布，达到了：1-3*10/cm（中心/边缘范围内）。特别是后一问题的解决，它创造性的解决了半绝缘GaAs晶片中存在...
