方略学科导航

搜索结果: 1-1 共查到“机械制造自动化 ICP”相关记录1条 . 查询时间(0.049 秒)

Pyrex玻璃的ICP刻蚀技术研究 ICP刻蚀 MEMS Pyrex玻璃实验设计 2014/5/14

以SF6/Ar为刻蚀气体，采用感应耦合等离子体（ICP）刻蚀Pyrex玻璃，研究气体流量、射频功率对刻蚀速率及刻蚀面粗糙度的影响。采用正交实验方法找出优化的实验参数，得到Pyrex玻璃刻蚀速率为106.8nm/min，表面粗糙度为Ra=5.483nm，实验发现增加自偏压是提高刻蚀速率、减小刻蚀面粗糙度的有效方法。