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工程与技术科学基础学科 SiO2
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中国科学院国家纳米科学中心专利:直接在
SiO2
介电层上制备并五苯薄膜晶体管的方法
中国科学院国家纳米科学中心
专利
SiO2介电层
并五苯
薄膜晶体管
2023/6/26
中国科学院国家纳米科学中心专利:直接在
SiO2
介电层上制备并五苯薄膜晶体管的方法
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B3+, Zn2+掺杂与
SiO2
薄膜驻极体的改性
离子掺杂
二氧化硅
复合膜
驻极体
2007/10/26
文章摘要: 用粉体制备和高温熔凝工艺在n型单晶硅基片上制备了非晶态
SiO2
--ZnO--B2O3复合膜驻极体, 实现对
SiO2
薄膜驻极体的改性. 恒栅压电晕充电、等温表面电位衰减及热刺激放电(thermally stimulated discharged, TSD)实验表明, B3+、Zn2+的掺杂对
SiO2
薄膜驻极体的电荷动态特性有较大影响: TSD放电电...
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