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中国科学院声学研究所专利：一种U形槽悬臂梁结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：具有串联结构的MEMS压电矢量水听器及其制备方法
中国科学院声学研究所专利：一种MEMS压电矢量水听器及其制备方法
新型三维MEMS矢量水听器的设计
矢量水听器 MEMS ANSYS 仿生
2014/4/18
根据国内对高灵敏度、低频小体积三维矢量水听器的需求，提出了一种仿鱼侧线纤毛的MEMS三维矢量水听器。该水听器采用多纤毛结构分别用来接收X、Y与Z方向的声信息，采用ANSYS进行仿真，静力分析得出了布放压阻的合理位置,谐响应分析得出该结构的固有频率在1.5KHz左右；驻波桶校准测试结果表明：该水听器的灵敏度范围在-200dB到-180dB左右；在25Hz-2000Hz频段内具有良好的频响特性；指向性...
针对目前电容超声传感器多采用表面工艺制备，存在振膜应力大、厚度均匀性控制差且表面需要沉积分立电极而造成传感器灵敏度低、归一化位移小、频率易偏差的缺点，本文提出基于硅晶圆键合工艺的MEMS电容超声传感器。采用应力小、厚度均匀的SOI顶层硅作为敏感单元的一体化全振微传感薄膜，无需沉积分立电极，易于加工且频率偏差小。通过下电极的区域化定义及巧妙互联，避免了非活跃区的寄生电容。通过Ansys及Matlab...
基于MEMS技术的低g值微惯性开关的设计与制作
平面矩形螺旋梁 微惯性开关 低g值开关 微机电系统（MEMS）
2014/4/29
惯性开关是一种感受惯性加速度，执行开关机械动作的精密惯性装置。选用典型的“弹簧-质量-阻尼”结构，研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值(1g~30g)微惯性开关。惯性敏感单元由一个方形质量块和支撑它的两根螺旋梁组成，采用ANSYS有限元软件对其进行了仿真分析。采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装技术，包括KOH腐蚀、ICP刻蚀和喷涂工艺等关键工艺技术，完成了微惯性开关的制备，划片后芯片尺寸为7mm...