搜索结果: 76-90 共查到“知识库 微电子学”相关记录297条 . 查询时间(3.187 秒)
微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成
单片集成 MEMS SOI 仪用放大器
2014/5/14
本文提出了一种基于SOI 技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路。信号调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器。测量的结果证实了我们单片集成的可行性。
MEMS可编程光栅动态驱动电路的研制
MEMS可编程光栅 高压运放 驱动电路 自激
2014/5/14
MEMS可编程光栅的工作性能很大程度依赖于驱动电路的性能。本文根据MEMS可编程光栅的工作特点及结构参数,提取出光栅的等效电容值,并采用集成高压运放研制出一种新型的MEMS可编程光栅的动态驱动电路。为了避免自激振荡的发生,电路中采用了频率补偿和并联反馈电容的方法,有效提高了电路的稳定性。实际电路经过测试,其动态性能与PSPICE10仿真的结果非常吻合。该动态驱动电路具有高的电压输出范围(0~180...
基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试
能量采集 MEMS 压电效应 悬臂梁
2014/5/14
微能量采集技术是利用某种效应把周围环境中的某种形式的能量转换成电能,为嵌入式系统和无线传感网络中的MEMS器件供能。本文探讨了一种基于MEMS技术的压电型微能量采集器。微能量采集器工作于低频环境,当给其振动激励信号时,它能够把机械能转换为电能。但是能量采集器直接输出的是交流电压,一般不能直接为器件供能。所以,利用AC-DC电路把交流转换为直流,实现为MEMS器件供能。文中给出了微能量采集器的测试电...
基于FPGA的数字式电容检测系统
电容式加速度计 电容检测 FPGA 直接频率合成
2014/5/14
基于微机械工艺制作的加速度计,广泛采用差动结构电容变化来反映被测量的方向和大小。近年来针对该需求研制了检测微小电容变化的电路。采用基于FPGA实现的数字式电容检测系统,具有高精度和稳定度,对寄生电阻、电容不敏感,并直接采用数字接口输出。它检测电容变化范围为 ,电容检测分辨率可达到 。将系统连接到灵敏度为 的加速度计后,可以测量的加速度分辨率为 ,对应的动态范围为 。
MEMS压力传感器在义齿力学性能研究中的应用
义齿 电容式传感器 MEMS 传感器测试
2014/5/14
本文详细给出了一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试.文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器.在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试,从而检测出压力对口腔下方组织的作用力.测量结果表明,该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布....
重掺杂发射区中禁带宽度和少子复合寿命的确定方法
重掺杂发射区 禁带宽度 少子复合寿命
2010/4/12
禁带宽度和少子复合寿命是硅晶体管发射区中重要的物理参数。本文利用p-n结反向扩散电流的温度特性和借助于线性外推法,提出了一种确定绝对零度时禁带宽度的新方法。由于发射区重掺杂,本文考虑了载流子的费米-狄拉克统计分布。提出了确定发射区中少子复合寿命的方法。该方法简便实用。
测量热阴极次级电子发射的新方法及其应用
热阴极 次级电子发射测量方法 钪酸盐阴极 内建场模型
2010/4/2
本文利用相关检测技术,并对测试管结构作了改进,很好地抑制了热电子本底及空间电荷效应,构成一种测量热阴极在工作温度下次级电子发射性能的新方法。以浸渍钪酸盐阴极为样品,测得在低的轰击电子能量和电子流情况下次级电子发射系数δ占随温度指数上升;轰击电子能量或轰击电子流较大时,温度对δ没有很大的影响。研究表明高温下钪酸盐阴极存在电子轰击热发射增大效应,对此本文提出“内建场模型”加以解释。
具有介质覆盖层的微带电流元近场的近似计算
微带天线 电磁场理论 矩量法 Sommerfeld积分
2010/4/2
从具有介质覆盖层的微带电流元的Sommerfeld积分精确表达式出发,推导出了简单的近场近似公式。并将近似公式和计算积分的结果作了比较。近似公式适用于ρ/λ较小的情况,对介质层厚度和损耗没有限制。
采用一种利用TCAD仿真提取MOS器件在静电放电现象瞬间大电流情况下的电学参数,对MOS器件二次击穿行为进行电路级宏模块建模。MOS器件是一种重要的静电放电防护器件,被广泛地应用为集成电路输入输出口的静电保护器件。用TCAD仿真工具对MOS器件的二次击穿进行宏模块建模,该模型能够正确反映MOS器件二次击穿的深刻机理,具有良好的精确性和收敛性,这对在电路级以及系统级层面上仿真静电放电防护网络的抗静电...
基于振动式发电机的微型驻极体研究
MEMS 驻极体 振动 发电机
2014/5/15
针对静电式微型振动式发电机的核心材料——微型化二氧化硅/氮化硅驻极体搭建出了合理的充电实验平台,对充电时的温度、湿度、充电电压、针尖电极的形状、充电时间等参数对驻极体充电后的性能的影响进行实验分析,对加工出的满足要求的微型化驻极体进行性能测试,得到驻极体表面电位大小和稳定性与充电过程的参数的一些联系,总结出了关于提高微型化驻极体表面电位大小以及稳定性的充电条件和方法。
压电式双振子微型发电机功率调节电路设计
压电 微型发电机 双振子 功率调节电路
2014/5/15
为克服压电式单振子微型发电机通过一般整流、滤波和储能控制电路不能连续为瞬时发射功率较大的无线传感器网络发射模块供电的问题,提出了一种双振子振动发电的结构思想,介绍了双振子振动发电原理;提出了一种双振子微型发电机输出功率调节控制电路技术方案,它由主—辅整流电路、主储能器、滤波器、辅助补充能量控制电路、稳压电路、滞回比较器、开关控制电路和电子开关等组成。经实验证明:封装了该功率调节电路的压电式双振子微...
薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析
薄膜体声波谐振器 压电等效电路模型 结构参数优化
2014/5/15
建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中。运用PSPICE软件研究了谐振器各结构层的尺寸参数对谐振器谐振频率、品质因数和有效机电耦合系数的影响,并讨论了使用不同材料的电极,谐振器品质因数的变化情况。基于以上分析,对谐振器的结构参数进行优化,获得薄...
平面S型与平面W型MEMS弹簧性能比较研究
微机电系统 平面弹簧 刚度系数 有限元方法
2014/5/15
S型与W型是平面MEMS弹簧中两种典型的结构形式,各自结构特点导致了它们具有不同的力学性能。本文通过理论分析、仿真计算和实验验证方法对平面镍质S型与平面W型MEMS弹簧性能进行了比较研究,得出了在同样的外廓尺寸及相同的线宽、厚度和梁间距情况下,平面S型微弹簧的刚度大于平面W型微弹簧的刚度的结论,为MEMS弹簧的进一步优化设计提供理论参考。
新型硅基MOS力敏传感器的设计与制作
力敏效应 MOS晶体管 灵敏度 功耗
2014/5/15
随着汽车、航天、生物等领域对力敏传感器的越来越巨大的市场需求,力敏传感器再次成为研究的热点。压阻式力敏传感器由于其性能稳定、制作工艺简单、稳定性好且价格低成为商家的首选。研究表明,在应力作用下,MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化,具有类似压敏电阻的力敏效应。本文基于MOS晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的硅基MOS力敏传感器。该器件在与传统...